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UIH-1H 結像型檢測燈:專用于半導體拋光晶圓 Haze(霧度)檢測

更新時間:2026-02-28      瀏覽次數:157


本文介紹了株式會社 INTECS 開發的 UIH-1H 型超高亮度照明裝置。該設備利用丁達爾現象,專為精密光學檢測設計。其核心定位在于 “結像重視" (成像清晰度),區別于單純的高亮度照明設備。UIH-1H 的主要功能是專攻半導體拋光晶圓(Polish Wafer)的 Haze(霧度)檢測,通過獨特的光學系統在晶圓表面投影出3條檢查標記,使操作人員能直觀判斷表面微米級的霧狀缺陷。同時,該設備也適用于廣泛的 “半導體晶圓與掩膜玻璃專用" 場景,可用于檢查表面異物、傷痕及內部氣泡。文章詳細列出了其 15V 150W 的光源規格,并強調了其特的有的3分鐘強制冷卻關機流程,以確保設備在高潔凈度工業環境下的穩定性和 longevity。

UIH-1H 結像型檢測燈:專用于半導體拋光晶圓 Haze(霧度)檢測



1. 設備概述
UIH-1H 型超高亮度照明裝置(UIH Series)由株式會社 INTECS 開發。該設備利用丁達爾現象(Tyndall Phenomenon),通過高亮度光線照射,使微小的異物、氣泡或傷痕產生光散射。

與同系列的 UIH-1C 型號不同,UIH-1H 在設計上側重于成像清晰度(結像重視),而非單純的高亮度。


2. 核心用途與檢測原理
  • 核心用途:該設備專為拋光晶圓(Polish Wafer)的 Haze(霧度/濁度)檢測而設計。

  • 光學特性:UIH-1H 能夠在照射面上投影出 3 條特定的檢查標記。這些標記有助于操作人員清晰地觀察晶圓表面的霧狀缺陷(Haze)。

  • 適用對象:主要針對半導體晶圓,同時也適用于掩膜玻璃(Mask Glass)、光學部件及鏡頭等精密部件的表面檢查。


3. 技術規格
項目規格參數
光源規格15V 150W 專用鹵素燈
設計特點結像重視型 (Imaging Emphasis)
燈泡壽命最高亮度下約 50 小時 / 半亮度下約 800 小時
電源要求AC100V
4. 操作規范(重點)
  • 結束使用流程:檢測結束后,先將燈泡開關撥回 STANDING BY 狀態。必須冷卻 3 分鐘以上,待內部溫度下降后,再切斷電源。這是為了保護設備并確保下一次使用的穩定性。



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