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Santec 晶圓幾何參數測量系統 厚度測量儀 TMS-2000 TMS-2000以非接觸方式測量晶圓的的厚度分布，可以測量精度為1nm的平整度。 當在涉及極的端的溫度變化和振動的不穩定環境中使用時，傳統的晶圓厚度映射技術難以解決精度問題，而TMS-2000具有高的環境穩定性。由于其高速測量能力和緊湊的尺寸，TMS-2000可用于涉及在線檢測的各種工業領域。